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              犧牲層腐蝕仿真軟件模塊
              

                                    
              
                                        
              發布日期：2010/4/12 8:42:32
              


                                        
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              “犧牲層腐蝕仿真軟件模塊”適用于WiN2000，WinXP操作系統。這是一個仿真犧牲層腐蝕過程的應用軟件。軟件自身提供了Thermal–GrownSilicon、LPCVDLTO、LPCVDPSG三種不同犧牲層材料，以及HF、BHF、HF加HCl三種不同腐蝕液的仿真庫。此外，軟件還提供了根據用戶在短時間內測得的三組實驗數據輸入界面。在任意溫度和濃度條件下，對一些基本結構（Port、Bubble、Concentriccircle）及組合復雜結構的腐蝕過程進行仿真計算，并將仿真結果用圖表形象地表示出，同時能夠輸出腐蝕長度與腐蝕時間一一對應的數據庫文件，便于用戶進行數據分析。通過軟件仿真計算，能夠較準確的預測在一定腐蝕液、犧牲層材料、溫度、濃度條件下，一些具體結構的腐蝕長度及形狀與腐蝕時間的對應關系。經實驗驗證，該軟件提供的仿真結果與實驗誤差不大于5%。
                                      
              
                                    
                                    
                                    
                                    
              
                                        
              
                                            
                                               
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