一種制造IC中高壓半導體器件的工藝
發布日期:2010/4/12 8:44:09
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通過對CMOS高壓智能集成電路設計和工藝技術相關內容的研究,成功的開發出我國自己的高壓功率集成工藝技術,并在上海貝嶺公司建立了國內第一條660V高壓功率IC生產線。在此基礎上,制造出國內第一塊耐壓達660V、大功率(30瓦、若在固定電壓應用狀態下可達50瓦)、高低壓兼容、數模混合CMOS工藝實現的PWM(脈寬調制)開關電源芯片,內部具有電流線性控制占空比轉換、過溫和過流保護、過/欠壓保護、切斷/自啟動等特點;同時外圍電路簡單,電源轉換效率高。其主要技術指標均達到設計要求,除耐壓尚有40V的差距外;技術水平達到國內領先水平。與上海貝嶺合作開發的高壓功率IC生產線也為今后加工制作各種具有自主知識產權的國產高壓智能功率IC產品提供了可能,使更多從事此方面研發的人員有通過實踐檢驗自己設計思想正確性的機會,最終使我國的高壓功率IC在市場上占據一席之地。
本成果是與上海貝嶺股份有限公司共同開發的,并在其高壓功率IC生產線獲得成功?,F已成功的生產出一款耐壓為660V的PWM AC/DC電源電路IC樣片,其所有技術指標,除耐壓相差6%外,均達到設計要求,同時該生產線可以為其它產品的生產提供條件,因而本成果應用轉化的市場前景非常好。