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              基于AFM的納米刻蝕加工技術
              

                                    
              
                                        
              發布日期：2010/4/12 8:56:49
              


                                        
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                           原子力顯微鏡（AFM）技術的原理是基于微探針與樣品表面之間的原子力作用效應，這種作用不受樣品導電性的限制，因此，AFM可廣泛應用于導體、半導體和絕緣體樣品的納米檢測及納米計量；另一方面，基于AFM的微探針與樣品表面之間的原子力加載作用，可對樣品表面進行納米刻蝕，通過控制加載力的大小和微探針的掃描路徑，加工制備出不同線寬、不同深度、不同形狀的微納米結構。
                                      
              
                                    
                                    
                                    
                                    
              
                                        
              
                                            
                                               
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