通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場

設備名稱：原子力顯微鏡 

儀器型號：Innova 

所屬單位：西安交通大學-機械制造系統工程國家重點實驗室 

設備原值：59 萬元 

制造廠商：美國VEECO 

生產國別：美國 

當前狀態：對外服務 

儀器設備詳細指標 

主要技術指標 技術參數 1. 閉環掃描管：XY>90μm，Z>7.5μm 2. 開環掃描管：XY>5μm, Z >1.5μm 3. 樣品尺寸： X-50 mm x Y-50mm x Z-18 mm 4. 電動Z 軸載物臺：Z 軸行程： 18mm 5. 光學系統： 攝像頭： 軸線彩色CCD，帶電動變焦 6. 視場： 1.24mm x0.25mm (電動變焦，10x 物鏡) 7. 分辨率： <2μm，標準10x 物鏡(50x 物鏡<0.75μm) 8. 電子電路：20 位DAC 控制器，100kHz、±10v ADCs，數字反饋器件主要特點 1. 獨有的閉環掃描控制，在開環噪聲水平上提供三維精確測 2. 高分辨光學系統輔助精確探針定位 3. 快速更換探針, 開放的樣品臺設計使得使用更方便，更容易 4. 擁有所有SPM 操作模式，為科學研究提供更高的應用靈活性 5. 卓越的信號讀錄與輸入功能便于用戶自己設計研究方法  

功能/應用范圍 氣相和固體微結構測試，表面形貌，表面摩擦力影像分析，薄膜表面粗糙度檢測，Innova SPM 掃描探針顯微鏡以其高分辨率和出色的品質，廣泛應用于物理、生命科學和材料科學等諸多領域。  

服務領域  農/林/牧/漁  輕工/紡織  石油/石化  食品/煙草  地質/礦產  礦業/冶金  鋼鐵/有色金屬  水文氣象  非金屬/珠寶  橡膠/塑料(材料)  通信/郵政  機械制造  醫療/衛生  生物/醫藥  地質勘探  電氣工程  儀器/儀表  航空/航天  電子/信息技術  交通/運輸(公路/鐵路)  環保/水利/氣象/天文  其它   

技術特色   

服務情況及收費標準 

對外服務(平均機時/年)   

收費標準（元/樣品）   

聯系方式 

聯系人 薛瑞  

聯系電話 029-83395005  

傳真 029-83395005  

電子郵件 xuerui123@mail.xjtu.edu.cn