通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場

設備名稱：納米壓印機 

儀器型號：無 

所屬單位：西安交通大學 

生產國別：中國 

當前狀態：對外服務 

儀器設備詳細指標 

主要技術指標 壓印面積：4寸（130mm×130mm）壓印精度：小于50納米機械運動定位系統包括：宏工作臺運動系統，X,Y方向重復定位精度1um；微動工作臺，X,Y方向重復定位精度10nm；納米壓印控制系統：宏驅動X,Y方向行程分別為250mm，步進為1um；PZT微驅動最小步進為2nm; 光學對準系統：包括了兩個CCD攝像頭，用于納米多層壓印時的對準  

功能/應用范圍 面向45nm及以下超大規模集成電路光刻，進行納米壓印光刻工藝、材料及裝備研究與開發。  

服務領域  農/林/牧/漁  輕工/紡織  石油/石化  食品/煙草  地質/礦產  礦業/冶金  鋼鐵/有色金屬  水文氣象  非金屬/珠寶  橡膠/塑料(材料)  通信/郵政  機械制造  醫療/衛生  生物/醫藥  地質勘探  電氣工程  儀器/儀表  航空/航天  電子/信息技術  交通/運輸(公路/鐵路)  環保/水利/氣象/天文  其它   

技術特色   

服務情況及收費標準 

對外服務(平均機時/年)   

收費標準（元/樣品）   

聯系方式 

聯系人 高崐  

聯系電話 18792539151  

傳真 029-83395052  

電子郵件 jhw@mail.xjtu.edu.cn