通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場

設備名稱：管式生長爐 

儀器型號：CVD-09502/ CVD(D)-12/50/2 

所屬單位：西安交通大學 

制造廠商：合肥日新 

生產國別：中國 

當前狀態：對外服務 

儀器設備詳細指標 

主要技術指標 技術參數： 1.A管高溫區最高溫度：1650℃；低溫區最高溫度：1300℃ 2.A管高溫區工作溫度：1300-1500℃；低溫區工作溫度：1100-1250℃ 3.B管高溫區最高溫度：1100℃；低溫區最高溫度：1100℃ 4.B管高溫區工作溫度：800～1050℃；低溫區工作溫度：800～1050℃ 5.控溫精度：±1℃ 主要特點 1.A爐管實際尺寸： Φ90（外徑）×1450mm （石英） 2.B爐管實際尺寸： Φ120（外徑）×1450mm （剛玉） 3.進口單回路智能溫度控制儀ID參數自整定、超溫、欠溫、斷偶報警保護 4.加熱元件：優質U型硅鉬棒（1800型）、進口KTL電阻絲 5.真空工作模式 6.多種工藝氣路，實現多種薄膜材料制備  

功能/應用范圍 專門設計用于高（低）溫CVD工藝。如ZnO納米結構的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導電率測試、陶瓷電容器（MLCC）的氣氛燒結等。  

服務領域  農/林/牧/漁  輕工/紡織  石油/石化  食品/煙草  地質/礦產  礦業/冶金  鋼鐵/有色金屬  水文氣象  非金屬/珠寶  橡膠/塑料(材料)  通信/郵政  機械制造  醫療/衛生  生物/醫藥  地質勘探  電氣工程  儀器/儀表  航空/航天  電子/信息技術  交通/運輸(公路/鐵路)  環保/水利/氣象/天文  其它   

技術特色   

服務情況及收費標準 

對外服務(平均機時/年)   

收費標準（元/樣品）   

聯系方式 

聯系人 王久洪  

聯系電話 13201543166  

傳真 029-83395052  

電子郵件 jhw@mail.xjtu.edu.cn