通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場

設備名稱：雙面對準曝光機 

儀器型號：350/NUV/DCCD 

所屬單位：西安交通大學 

制造廠商：ABM 

生產國別：美國 

當前狀態：對外服務 

儀器設備詳細指標 

主要技術指標 最小線條：0.6μm；光強均勻性：±2%；CCD放大倍數：9X-600X；套刻精度：± 0.5μm；背面對準精度：±1μm；支持四種曝光模式：接近、軟接觸、硬接觸、真空；具有硅片自動找平功能；鍵合對準裝置可與鍵合機配套使用。  

功能/應用范圍 用于電子封裝、光電設備、探測器、MEMS 和MOEMS設備顯示器。  

服務領域  農/林/牧/漁  輕工/紡織  石油/石化  食品/煙草  地質/礦產  礦業/冶金  鋼鐵/有色金屬  水文氣象  非金屬/珠寶  橡膠/塑料(材料)  通信/郵政  機械制造  醫療/衛生  生物/醫藥  地質勘探  電氣工程  儀器/儀表  航空/航天  電子/信息技術  交通/運輸(公路/鐵路)  環保/水利/氣象/天文  其它   

技術特色   

服務情況及收費標準 

對外服務(平均機時/年)   

收費標準（元/樣品）   

聯系方式 

聯系人 高崐  

聯系電話 18792539151  

傳真 8029-3395052  

電子郵件 jhw@mail.xjtu.edu.cn