設備名稱:臺階輪廓測量儀
儀器型號:XP-2
所屬單位:西安交通大學
制造廠商:AMBIOS
生產國別:美國
當前狀態:對外服務
儀器設備詳細指標
主要技術指標 測試臺階厚度范圍:100A~400 UM;測試精度:5個數量級以上;探頭力的范圍:0.05-10MG(靜磁力系統);樣品厚度:1.25inches;樣品直徑:200mm
功能/應用范圍 用于測量輪廓、臺階高度、膜厚、薄膜應力主要應用領域: 光電子器件、半導體器件、薄膜工藝、厚膜工藝
服務領域 農/林/牧/漁 輕工/紡織 石油/石化 食品/煙草 地質/礦產 礦業/冶金 鋼鐵/有色金屬 水文氣象 非金屬/珠寶 橡膠/塑料(材料) 通信/郵政 機械制造 醫療/衛生 生物/醫藥 地質勘探 電氣工程 儀器/儀表 航空/航天 電子/信息技術 交通/運輸(公路/鐵路) 環保/水利/氣象/天文 其它
技術特色
服務情況及收費標準
對外服務(平均機時/年)
收費標準(元/樣品)
聯系方式
聯系人 高崐
聯系電話 18792539151
傳真 83395052
電子郵件 jhw@mail.xjtu.edu.cn
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