通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場

設備名稱：多靶材共集磁控濺射系統 

儀器型號：Explorer 14  

所屬單位：西安交通大學 

設備原值：230 萬元 

制造廠商：Denton Vacuum  

生產國別：美國 

當前狀態：對外服務 

儀器設備詳細指標 

主要技術指標 技術參數： 1.5×10-10 Torr 極限真空 2.RF偏壓基板最高可升溫到500℃ 3.4〃標準載物臺 4.3路工藝氣體為O2，N2, Ar 主要特點 1.3英寸陰極靶槍，射頻濺射×1，直流濺射×2 2.355mm直徑真空室配置水冷、加熱、抽氣等裝置 3.共聚焦靶槍布局,可實現共濺射 4.計算機控制，遠程操作與診斷 5.真空室直徑20×20英寸 6.機械泵,分子泵,液氮冷阱復合真空系統 

功能/應用范圍 ProcessPro計算機全自動控制系統，有維修模式，手動模式以及自動模式，自動模式一鍵式操作完成整個工藝，保證工藝的精確控制。3個靶槍共焦布局可實現金屬，磁性金屬及介電材料的獨立濺射與復合濺射，功能更強，用途更廣泛  

服務領域  農/林/牧/漁  輕工/紡織  石油/石化  食品/煙草  地質/礦產  礦業/冶金  鋼鐵/有色金屬  水文氣象  非金屬/珠寶  橡膠/塑料(材料)  通信/郵政  機械制造  醫療/衛生  生物/醫藥  地質勘探  電氣工程  儀器/儀表  航空/航天  電子/信息技術  交通/運輸(公路/鐵路)  環保/水利/氣象/天文  其它   

技術特色   

服務情況及收費標準 

對外服務(平均機時/年)   

收費標準（元/樣品）   

聯系方式 

聯系人 王久洪  

聯系電話 13201543166  

傳真 83395052  

電子郵件 jhw@mail.xjtu.edu.cn