通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場

設備名稱：深干法刻蝕機 

儀器型號：Oxford PlasmalabSystem100  

所屬單位：西安交通大學 

設備原值：380 萬元 

制造廠商：Oxford  

生產國別：英國 

當前狀態：對外服務 

儀器設備詳細指標 

主要技術指標 電感耦合等離子體刻蝕（ICP）與反應離子刻蝕（RIE刻蝕）模式。可進行低溫硅刻蝕，深硅刻蝕和SOI工藝。 

功能/應用范圍 無  

服務領域  農/林/牧/漁  輕工/紡織  石油/石化  食品/煙草  地質/礦產  礦業/冶金  鋼鐵/有色金屬  水文氣象  非金屬/珠寶  橡膠/塑料(材料)  通信/郵政  機械制造  醫療/衛生  生物/醫藥  地質勘探  電氣工程  儀器/儀表  航空/航天  電子/信息技術  交通/運輸(公路/鐵路)  環保/水利/氣象/天文  其它   

技術特色   

服務情況及收費標準 

對外服務(平均機時/年)   

收費標準（元/樣品）   

聯系方式 

聯系人 王久洪  

聯系電話 13201543166  

傳真 83395052  

電子郵件 jhw@mail.xjtu.edu.cn