通遼科技大市場暨內蒙古東部常設技術市場

設備名稱：鍵合機 

儀器型號：Tbon-100 

所屬單位：西安交通大學 

制造廠商：AST 

生產國別：中國臺灣 

當前狀態：對外服務 

儀器設備詳細指標 

主要技術指標 技術參數： 1.壓力：3.5-10KN；2.極板溫控：室溫-450℃；3.真空：<1 torr 4.陽極鍵合電壓：0-2000V 主要特點： 1.4"圓片夾具，具備高產出率；2.高制程質量再現性與穩定性 3.全自動操控接口；4.模塊化設計，觸屏操作  

功能/應用范圍 用于封裝工藝的陽極鍵合，硅-硅直接鍵合，具有真空，加壓，加電，加熱功能?？勺鳛樯a與實驗設備用途  

服務領域  農/林/牧/漁  輕工/紡織  石油/石化  食品/煙草  地質/礦產  礦業/冶金  鋼鐵/有色金屬  水文氣象  非金屬/珠寶  橡膠/塑料(材料)  通信/郵政  機械制造  醫療/衛生  生物/醫藥  地質勘探  電氣工程  儀器/儀表  航空/航天  電子/信息技術  交通/運輸(公路/鐵路)  環保/水利/氣象/天文  其它   

技術特色   

服務情況及收費標準 

對外服務(平均機時/年)   

收費標準（元/樣品）   

聯系方式 

聯系人 高崐  

聯系電話 18792539151  

傳真 029-83395052  

電子郵件 jhw@mail.xjtu.edu.cn