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一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統
[實用新型] 一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統
- 授權公告號：CN207019624U
- 授權公告日：2018.02.16
- 申請號：2017206025105
- 申請日：2017.05.26
- 專利權人：浙江大學
- 發明人：潘德馨;
盧乾波; 白劍; 汪凱巍 - 地址：310058浙江省杭州市西湖區余杭塘路866號
- 分類號：G01B11/02(2006.01)I 全部
- 專利代理機構：杭州求是專利事務所有限公司33200
- 代理人：林超
- 同樣的發明創造已同日申請發明專利
摘要： 本實用新型公開了一種雙波長超外差干涉實時位移測量系統。系統由兩個波長差為Δλ的激光器、三個偏振分光棱鏡、四個分光棱鏡、兩個聲光調制器、四個四分之一波片、五個平面反射鏡、三個偏振片、一個超窄帶濾波片、兩個大帶寬的跨阻抗光電探測器、兩個低帶寬的高靈敏度光電探測器、一個參考反射鏡、一個被測反射鏡組成。本實用新型利用雙波長產生的合成波長干涉信號提升系統的測量量程，使得系統的測量量程遠大于單波長干涉的量程，可以直接測量合成波長的相位，實現實時測量，同時利用超窄帶濾波片采得單波長干涉信號，在擴大測量量程的同時保證單波長干涉測量的精度。
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蒙公網安備 15050202000321號
